Tricloronosilane de Alto Carbono

O pó de silício seco reage com o gás de cloreto de hidrogénio seco a 340°C numa fornalha de cama fluidada de cloração, e o triclorossiano bruto gerado é separado em tetracloreto de silício por um coletor de pó molhado e uma torre de destilação de condensador de tubos, e depois condensado para obter o produto acabado. O produto também pode ser obtido pela reação do ferrosilcon e do HCl.