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Tecnologia de hidrogenação de baixa temperatura de tetracloreto de silício
A tecnologia de hidrogenação a baixa temperatura foi uma tecnologia para hidrogenar tetracloreto de silício com pó de silício e catalisador a uma temperatura de reação mais baixa. Usando catalisador à base de cobre ou ferro, à temperatura de 400 ~ 800 ℃, pressão de 2 ~ 4MPa, adicionando pó de silício e hidrogênio ao leito fluidizado e reagindo com tetracloreto de silício para produzir triclorosil ane . O princípio básico da reação de hidrogenação a baixa temperatura é o seguinte:
3SiCl4(g)+2H2(g)+Si(s)=4SiHCl3(g)
A tecnologia de hidrogenação de cloro é adicionar HCl com base na tecnologia de hidrogenação de baixa temperatura para reduzir ainda mais a temperatura da reação e aumentar o rendimento de triclorosilano . O princípio da reação de hidrogenação do cloro é o seguinte: 2SiCl4(g)+H2(g)+HCl(g)+Si(s)=3SiHCl3(g) . O plasma de hidrogênio é gerado pela descarga de hidrogênio, que é passado para o reator para reagir com o gás tetracloreto de silício. Como o hidrogênio é dissociado em átomos de hidrogênio, a reatividade é grandemente aumentada e pode reagir facilmente com tetracloreto de silício para formar triclorosilano . A hidrogenação catalítica é uma tecnologia para produzir triclorosilano passando uma mistura de tetracloreto de silício e hidrogênio por uma peneira molecular carregada com um catalisador. O princípio da reação é o seguinte: SiCl4(g)+H2(g)SiHCl3(g)+HCl(g) .
