Hidrogenação de tetracloreto de silício em triclorossilano
O desenvolvimento da indústria fotovoltaica promoveu muito o desenvolvimento da indústria de polissilício, e a produção de polissilício produz um grande número de subprodutos de tetracloreto de silício. Para o desenvolvimento sustentável da indústria de polissilício, a utilização abrangente de problemas de tetracloreto de silício deve ser resolvida, preparação de hidrogenação de silício e tetracloreto de silício em hidrogênio químico é a maneira mais eficaz de lidar com tetracloreto de silício, este método pode não apenas se livrar do tetracloreto de silício , ao mesmo tempo, gerar produção de polissilício de hidrogênio químico de matérias-primas de silício, reduzir significativamente o custo de produção.
A hidrogenação a alta temperatura do tetracloreto de silício é um método importante para tratar o tetracloreto de silício como um subproduto do polissilício. Hidrogenação de alta temperatura é tetracloreto de silício e hidrogênio como matérias-primas, aquecido por 1200 ~ 1250℃ aquecedor de grafite, reação de redução térmica para produzir triclosrosil ane .
As vantagens do processo são que todo o sistema é de circulação fechada, adequado para operação contínua e estável; Triclorosil ane produtos de alta pureza, precisam menos de links de destilação. A desvantagem é que a reação precisa ser realizada a 900~1400℃ ou até temperatura mais alta e alta pressão de 1~35MPa, e o consumo de energia é grande; Como o dispositivo de aquecimento do reator é uma correia de grafite isostática, é fácil formar metano e outros gases sob condições de alta temperatura e pressão, o que trará poluição de carbono para o polissilício na produção de ciclo de circuito fechado.