Métodos de síntese de triclorossilano

Atualmente, existem dois métodos principais de síntese de triclorossilano : um é o método de síntese tradicional, que é o método de cloreto de silício. A outra é a hidrolisação do tetracloreto.

Atualmente, o principal método de produção de polissilício é o método Siemens modificado, usando triclorossilano