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Processo de Redução de Triclorossilano
Método de controle de processo de redução de triclorossilano Este método inclui estágio de controle de reação preliminar, estágio de controle de reação estável e estágio de controle de reação final. Na etapa preliminar de controle da reação, o fluxo de SiHCl3 é controlado abaixo de 260 metros cúbicos/hora, o fluxo de H2 é controlado abaixo de 520 metros cúbicos/hora e a corrente é controlada entre 30-1000 amperes. Na etapa de controle de reação estável, o fluxo de SiHCl3 é controlado entre 175-260 metros cúbicos/hora, o fluxo de H2 é controlado entre 385-520 metros cúbicos/hora e a corrente é controlada entre 1000-2000 amperes. Na etapa final de controle da reação, o fluxo de SiHCl3 é controlado entre 130-250 metros cúbicos/hora. A vazão de H2 é controlada entre 360 e 520 m3/h, e a corrente é controlada entre 100 e 800 amperes. A invenção melhora o rendimento do triclorossilano e reduz o consumo de energia, reduzindo o custo de produção das empresas.
O princípio é reduzir o triclorossilano de alta pureza com hidrogênio de alta pureza no núcleo de silício de alta pureza em cerca de 1100 ℃ para gerar silício policristalino depositado no núcleo de silício. Com base no processo tradicional da Siemens, o processo melhorado da Siemens é equipado com um processo de suporte de economia de energia, redução de consumo, reciclagem e utilização de uma grande quantidade de H2, HCI, SiCI4 e outros subprodutos e uma grande quantidade de -produção de energia térmica. No processo de produção de polissilício, usando H2 redutor de hidrogênio químico silício em haste de silício gerada nas etapas de polissilício é a etapa mais importante, o processo de taxa de produção de polissilício de alta e baixa chave também está no controle das etapas do processo, assim para melhorar a taxa de produção de polissilício é o ponto-chave de controle das etapas do processo, e a etapa do processo está sob a condição de processo de reação de alta temperatura, alto consumo de energia, para reduzir o consumo de energia, também é necessário controlar a etapa do processo razoavelmente.
